為什么要選擇主動隔振系統？

? 從<1Hz開始強烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到有效的隔振

? 提高質量、生產量

? 更加細小特色的成像能力

? 前沿研究

? 比氣動平臺更穩定

? 滿足SEM標準地點安裝參數的**解決方案

? 使得新實驗室及研究設備的工程造價更低

主動隔振系統為何選擇STACIS

? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無震環境。

? 市場上**強勁的低頻隔振系統。

? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數要求，其需要的震動參數需要主動隔振系統才能滿足。

? STACIS**發明于1990s，經TMC進一步發展，開發和安裝了數以千計的主動隔振系統，這是主動隔振控制領域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動隔離器剛性大幾百倍

穩定時間作為對擾動的響應，由于串聯式設計，而大大縮短，理想應用于機械制造、動態負載、激光或者光源需要安裝的獨立剛性臺面的情況下。

如下優勢在業內都是**的

? STACIS的主動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

? 6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB 

? 從2-3Hz時，隔振可達90% (20dB) 

專業的環境調查

1、安裝前后的環境調查，包括震動、磁場、聲波

2、安裝后可提供環境系統體系認證

? 完善的環境調查服務

? 開具專業環境報告

? 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案

? TMC基于其廣泛經驗向用戶推薦實用性方案 

? 40多年的行業經驗，業內的**

STACIS用戶及應用領域

1、微電子、半導體

? 晶片檢測

? 顯微光刻技術

? 掩膜校準

2、科學研究、納米技術

? SEM、TEM

? STEM、SPM

3、激光臺

? 生命科學、藥物研發

4、工業應用

? 精密加工

應用照片